真空熱處理工藝的發(fā)展與設(shè)備的發(fā)展密不可分。 提高設(shè)備的技術(shù)水平以滿足工藝要求通常與支持零件技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)。 橡膠葉輪的開發(fā)主要是為了通過活塞式氣泵獲得真空，但只能達(dá)到0.25托的真空。 隨后的管制造技術(shù)要求更高的真空度，這促進(jìn)了真空技術(shù)的發(fā)展，因此出現(xiàn)了各種橡膠葉輪：旋轉(zhuǎn)水銀橡膠葉輪，油封旋轉(zhuǎn)橡膠葉輪，分子橡膠葉輪和擴(kuò)散橡膠葉輪。 其中，擴(kuò)散橡膠葉輪的發(fā)明使真空技術(shù)進(jìn)入了高真空階段（約10-8根毛發(fā)）。 隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，例如加速器，熱核反應(yīng)堆，大型真空護(hù)罩等，要求能夠在大空間中建立必要的真空。 因此，到1960年代初，擴(kuò)散器橡膠葉輪的排氣速度已達(dá)到數(shù)萬升/秒。 然而，就真空熱處理所需的真空度而言。 僅在特殊情況下， 因此，真空熱處理爐中常用的橡膠葉輪由機(jī)械橡膠葉輪和油蒸發(fā)擴(kuò)散橡膠葉輪組成。